Microcantilever: a chemical resonant sensor - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système TOUS LABOS Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Microcantilever: a chemical resonant sensor

Résumé

Silicon micromachined cantilevers can be used as chemical resonant sensor by adding a sensitive layer on the device structure. In this paper, the process technology, based on the use of SOI wafer, and the sensitive layer deposition are described. Using four different geometrical microcantilevers, the frequency dependence to mass modification is measured and allows to predict gas sensor response.
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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
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Dates et versions

hal-00181963 , version 1 (15-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00181963 , version 1

Citer

Ludivine Fadel, Isabelle Dufour, Frédéric Lochon, Olivier Français. Microcantilever: a chemical resonant sensor. MME'03, 14th Micromechanics Europe Workshop, Nov 2003, Delft, Netherlands. pp. 37-40. ⟨hal-00181963⟩
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