Sonde haute fréquence avec couplage réduit pour la mesure on-wafer
Résumé
Ce papier présente une nouvelle sonde pour les mesures sur plaques jusqu'à 110 GHz. La sonde est composée d'une membrane Silicium sur laquelle une ligne micro-ruban avec diélectrique en benzo-cyclobutène transporte le signal du connecteur vers les pointes GSG. Cette nouvelle architecture de sonde permet de diminuer le couplage électromagnétique entre la sonde et le substrat ainsi que la diaphonie entre les deux sondes. La sonde BCB MLIN est comparée à une sonde commerciale très utilisées. Une première comparaison, montre que les performances en termes de transmission et réflexion de la sonde isolée sont du même ordre de grandeur. En revanche, la diaphonie est réduite de plus de 15 dB à partir de 50 GHz. Le second test donne l'avantage à la sonde MLIN-BCB notamment lors de mesure de la figure de mérite fmax d'un transistor haute fréquence .
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