Communication Dans Un Congrès
Année : 2005
Patrick Schiavone : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00023229
Soumis le : vendredi 21 avril 2006-12:32:51
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:28
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00023229 , version 1
Citer
Rafik Smaali, David Fuard, Corinne Perret, Patrick Schiavone. Using scatterometry for 3D-feature metrology: application to Nano-Imprint Lithography. Nanoprint Nanoimprint Technology 05 Conference, 2005, Nara, Japan. ⟨hal-00023229⟩
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