Fully batch fabricated LIGA actuators integrated on piezoelectric ceramic substrates - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 1998

Fully batch fabricated LIGA actuators integrated on piezoelectric ceramic substrates

J. Mohr
  • Fonction : Auteur
C. Rembe
  • Fonction : Auteur
J. Schulz
  • Fonction : Auteur
U. Wallrabe
  • Fonction : Auteur
J. Wengelink
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00258756 , version 1 (25-02-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00258756 , version 1

Citer

Hélène Debeda, J. Mohr, C. Rembe, J. Schulz, U. Wallrabe, et al.. Fully batch fabricated LIGA actuators integrated on piezoelectric ceramic substrates. Actuators 98, 1998, Germany. pp.1. ⟨hal-00258756⟩
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