"PECVD a-SiNxCy:H thin films for hydrogen selective membranes" - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

"PECVD a-SiNxCy:H thin films for hydrogen selective membranes"

V. Rouessac
A. Julbe
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00317510 , version 1 (03-09-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00317510 , version 1

Citer

V. Rouessac, W. Kafrouni, A. Julbe, J. Durand. "PECVD a-SiNxCy:H thin films for hydrogen selective membranes". Xth International Conference on Inorganic Membranes (ICIM 10), Aug 2008, Tokyo, Japan. pp.1c04. ⟨hal-00317510⟩
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