Article Dans Une Revue
Proceeding of SPIE
Année : 2008
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00387486
Soumis le : lundi 25 mai 2009-14:56:19
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:18:33
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00387486 , version 1
Citer
H. Ridaoui, J.H. Tortai, S. Derrough, C. Sourd, H. Trouve, et al.. Ellipsometry studies of the kinetic of deprotection of thin 193 nm positive tone resist film. Proceeding of SPIE, 2008, pp.vol 6923, 692326-7. ⟨hal-00387486⟩
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