Communication Dans Un Congrès
Année : 2006
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00394515
Soumis le : jeudi 11 juin 2009-21:29:25
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:09
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00394515 , version 1
Citer
A. Jouve, A. Pikon, H. Solak, J.H. Tortai. Overcoming pattern collapse on e-beam and euv lithography. SPIE, 2006, United States. pp.vol 6153, 61531C. ⟨hal-00394515⟩
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