Profile control and sidewall modifications of narrow porous ULK trenches after plasma etching and pore sealing treatments
Maxime Darnon
(1)
,
Thierry Chevolleau
(1)
,
D. Eon
(1)
,
Fanny Bailly
(2)
,
Bernard Pélissier
(1)
,
Christophe Licitra
(3)
,
Laurent Vallier
(1)
,
Joaquin Torres
(2)
,
Olivier Joubert
(4)
Maxime Darnon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17906
- IdHAL : maxime-darnon
- ORCID : 0000-0002-6188-7157
- IdRef : 124051758
Olivier Joubert
- Fonction : Auteur
- PersonId : 175363
- IdHAL : olivier-joubert
- ORCID : 0000-0003-3374-1481
- IdRef : 067130984