Communication Dans Un Congrès
Année : 2006
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00461614
Soumis le : vendredi 5 mars 2010-10:27:56
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:25
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00461614 , version 1
Citer
Maxime Darnon, T. Chevolleau, N. Posseme, T. David, L. Vallier, et al.. Critical Dimensions Control of Narrow Low-k Trenches. Materials for Advanced Metallization, 2006, grenoble, France. ⟨hal-00461614⟩
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