Critical Dimensions Control of Narrow Low-k Trenches - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00461614 , version 1 (05-03-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00461614 , version 1

Citer

Maxime Darnon, T. Chevolleau, N. Posseme, T. David, L. Vallier, et al.. Critical Dimensions Control of Narrow Low-k Trenches. Materials for Advanced Metallization, 2006, grenoble, France. ⟨hal-00461614⟩
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