Simulation and optimization of a totally free flexible RF MEMS switch - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Micromechanics and Microengineering Année : 2009

Simulation and optimization of a totally free flexible RF MEMS switch

N. Lorphelin
  • Fonction : Auteur
A.S. Rollier
  • Fonction : Auteur
S. Touati
  • Fonction : Auteur
A. Kanciurzewski
  • Fonction : Auteur
O. Millet
  • Fonction : Auteur
K. Segueni
  • Fonction : Auteur

Dates et versions

hal-00472757 , version 1 (13-04-2010)

Identifiants

Citer

N. Lorphelin, R. Robin, A.S. Rollier, S. Touati, A. Kanciurzewski, et al.. Simulation and optimization of a totally free flexible RF MEMS switch. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2009, 19, pp.074017-1-9. ⟨10.1088/0960-1317/19/7/074017⟩. ⟨hal-00472757⟩
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