Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2004
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00477274
Soumis le : mercredi 28 avril 2010-15:34:36
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:14
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00477274 , version 1
Citer
J.H. Tortai. Modeling of ultra thin resist films structure after spin-coating and post-applied bake. Microelectronic Engineering, 2004, Volumes 73-74, pp.Pages 223-227. ⟨hal-00477274⟩
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