Efficient simulation of EUV masks using modal methods - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2003
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00488301 , version 1 (01-06-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00488301 , version 1

Citer

P. Schiavone, M. Besacier, G. Granet. Efficient simulation of EUV masks using modal methods. Faunhofer IISB Lithography Simulation Workshop, 2003, Hersbruck, Germany. ⟨hal-00488301⟩
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