Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2001
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00490483
Soumis le : mardi 8 juin 2010-17:21:58
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:19:45
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00490483 , version 1
Citer
P. Schiavone, G. Granet, J.y Robic. Rigorous electromagnetic simulation of EUV masks: influence of the absorber properties. Microelectronic Engineering, 2001, pp.vol. 57-58, 497. ⟨hal-00490483⟩
Collections
63
Consultations
0
Téléchargements