Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2011
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00795901
Soumis le : vendredi 1 mars 2013-10:29:28
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
X.L. Han, G. Larrieu, Pier-Francesco Fazzini, Emmanuel Dubois. Realization of ultra dense arrays of vertical silicon NWs with defect free surface and perfect anisotropy using a top-down approach. Microelectronic Engineering, 2011, 88, pp.2622-2624. ⟨10.1016/j.mee.2010.12.102⟩. ⟨hal-00795901⟩
Collections
69
Consultations
0
Téléchargements