Broadband optical monitoring for a 2-meter optics magnetron sputtering deposition machine - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Broadband optical monitoring for a 2-meter optics magnetron sputtering deposition machine

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01279052 , version 1 (25-02-2016)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01279052 , version 1

Citer

Dragan Stojcevski, Michel Lequime, Didier Torricini, Grégory Chauveau, Catherine Grezes-Besset. Broadband optical monitoring for a 2-meter optics magnetron sputtering deposition machine. Optical Systems Design 2011, Sep 2011, Marseille, France. pp.81681G. ⟨hal-01279052⟩
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