PEALD Platinum Nano-island SET Fabrication and Electrical Characterization - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2017

PEALD Platinum Nano-island SET Fabrication and Electrical Characterization

Etienne Puyoo
M. Le Berre
Liviu Militaru
S. Koneti
  • Fonction : Auteur
Céline Chevalier
Francis Calmon
Brice Gautier
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01701467 , version 1 (05-02-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01701467 , version 1

Citer

Daniel Thomas, Etienne Puyoo, M. Le Berre, Liviu Militaru, S. Koneti, et al.. PEALD Platinum Nano-island SET Fabrication and Electrical Characterization. AVS 17th International Conference on Atomic Layer Deposition, Jan 2017, Denver, United States. ⟨hal-01701467⟩
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