Communication Dans Un Congrès
Année : 2019
Patrick Schiavone : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02326619
Soumis le : mardi 22 octobre 2019-15:28:51
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:17:27
Citer
Duy Duc Nguyen, Jean-Herve Tortai, Patrick Schiavone. FEM simulation for artificial generation of SEM pictures. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIII, Feb 2019, San Jose, United States. pp.1095918, ⟨10.1117/12.2515181⟩. ⟨hal-02326619⟩
Collections
33
Consultations
0
Téléchargements