Plasma Damage of Porous Low-k Materials - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

Plasma Damage of Porous Low-k Materials

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02338124 , version 1 (29-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02338124 , version 1

Citer

Maxime Darnon, Thierry Chevolleau, Romain Hurand, David Fuard, Régis Bouyssou, et al.. Plasma Damage of Porous Low-k Materials. Material Research Society Spring Meeting, Apr 2014, San Francisco, United States. ⟨hal-02338124⟩
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