Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2013
Patrick Schiavone : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02362305
Soumis le : mercredi 13 novembre 2019-18:23:44
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:11
Citer
Thiago Figueiro, Mohamed Saib, Jean-Herve Tortai, Patrick Schiavone. PSF calibration patterns selection based on sensitivity analysis. Microelectronic Engineering, 2013, 112, pp.282-286. ⟨10.1016/j.mee.2013.03.113⟩. ⟨hal-02362305⟩
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