PSF calibration patterns selection based on sensitivity analysis - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2013

PSF calibration patterns selection based on sensitivity analysis

Mohamed Saib
  • Fonction : Auteur
Patrick Schiavone
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02362305 , version 1 (13-11-2019)

Identifiants

Citer

Thiago Figueiro, Mohamed Saib, Jean-Herve Tortai, Patrick Schiavone. PSF calibration patterns selection based on sensitivity analysis. Microelectronic Engineering, 2013, 112, pp.282-286. ⟨10.1016/j.mee.2013.03.113⟩. ⟨hal-02362305⟩
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