Article Dans Une Revue
physica status solidi (a)
Année : 2016
Jocelyn ACHARD : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02492710
Soumis le : jeudi 27 février 2020-11:36:50
Dernière modification le : mardi 12 mars 2024-03:22:49
Citer
Benoit Baudrillart, Fabien Benedic, Amel Melouani, Filipe T. Oliveira, Rui Silva, et al.. Low-temperature deposition of nanocrystalline diamond films on silicon nitride substrates using distributed antenna array PECVD system. physica status solidi (a), 2016, 213 (10), pp.2575-2581. ⟨10.1002/pssa.201600221⟩. ⟨hal-02492710⟩
Collections
41
Consultations
0
Téléchargements