Silicon/silicon oxide and silicon/silicon nitride multilayers for XUV optical applications - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 1990

Silicon/silicon oxide and silicon/silicon nitride multilayers for XUV optical applications

Louis Hennet
Mikhael Kuehne
  • Fonction : Auteur
Peter Mueller
  • Fonction : Auteur
Zhigang Li
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1012862
David Smith
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02540613 , version 1 (11-04-2020)

Identifiants

Citer

Pierre Boher, Philippe Houdy, Louis Hennet, Jean-Pierre Delaboudiniere, Mikhael Kuehne, et al.. Silicon/silicon oxide and silicon/silicon nitride multilayers for XUV optical applications. 34TH ANNUAL INTERNATIONAL TECHNICAL SYMPOSIUM ON OPTICAL AND OPTOELECTRONIC APPLIED SCIENCE AND ENGINEERING, Jul 1990, San Diego, United States. pp.39, ⟨10.1117/12.23176⟩. ⟨hal-02540613⟩
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