Characterization of nanoporous alumina using terahertz reflectometry and scattering imaging - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Characterization of nanoporous alumina using terahertz reflectometry and scattering imaging

Min Zhai
  • Fonction : Auteur
A. Locquet
Mi Jung
  • Fonction : Auteur
Deokha Woo
  • Fonction : Auteur
D. Citrin

Résumé

The structure as well as morphology of nanoporous alumina (NP Al2O3) films on Al substrates are investigated by terahertz (THz) reflectometry and scattering imaging. An inhomogeneous area is identified in THz C-scan results off specular conditions at various angles. The thickness of NP Al2O3 films calculated based on THz results is in excellent agreement with destructive cross-sectional field emission scanning electron microscopy (FE-SEM) measurements.
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IRMMW_THz 2021 NP Al2O3 morphology.pdf (278 Ko) Télécharger le fichier
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-03419873 , version 1 (08-11-2021)

Identifiants

Citer

Min Zhai, A. Locquet, Mi Jung, Deokha Woo, D. Citrin. Characterization of nanoporous alumina using terahertz reflectometry and scattering imaging. 2021 46th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Aug 2021, Chengdu, China. ⟨10.1109/IRMMW-THz50926.2021.9567113⟩. ⟨hal-03419873⟩
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