Kinked Silicon Nanowires: Superstructures by Metal-Assisted Chemical Etching - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Nano Letters Année : 2019

Kinked Silicon Nanowires: Superstructures by Metal-Assisted Chemical Etching

Georgiana Sandu
  • Fonction : Auteur
Jonathan Avila Osses
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Marine Luciano
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Darwin Caina
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Antoine Stopin
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Davide Bonifazi
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Jean-Francois Gohy
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Alejandro Silhanek
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Ileana Florea
Philippe Leclère
Sylvain Gabriele
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Alexandru Vlad
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Sorin Melinte
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Résumé

We report on metal-assisted chemical etching of Si for the synthesis of mechanically stable, hybrid crystallographic orientation Si superstructures with high aspect ratio, above 200. This method sustains high etching rates and facilitates reproducible results. The protocol enables the control of the number, angle, and location of the kinks via successive etch-quench sequences. We analyzed relevant Au mask catalyst features to systematically assess their impact on a wide spectrum of etched morphologies that can be easily attained and customized by fine-tuning of the critical etching parameters. For instance, the designed kinked Si nanowires can be incorporated in biological cells without affecting their viability. An accessible numerical model is provided to explain the etch profiles and the physicochemical events at the Si/Au-electrolyte interface and offers guidelines for the development of finite-element modeling of metal-assisted Si chemical etching.

Dates et versions

hal-03420036 , version 1 (08-11-2021)

Identifiants

Citer

Georgiana Sandu, Jonathan Avila Osses, Marine Luciano, Darwin Caina, Antoine Stopin, et al.. Kinked Silicon Nanowires: Superstructures by Metal-Assisted Chemical Etching. Nano Letters, 2019, 19 (11), pp.7681-7690. ⟨10.1021/acs.nanolett.9b02568⟩. ⟨hal-03420036⟩
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