Characteristics of He ion implanted layers on single-crystal diamond - CNRS - Centre national de la recherche scientifique
Poster De Conférence Année : 2018

Characteristics of He ion implanted layers on single-crystal diamond

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Génie des procédés Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique Electronique
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Soumis le : jeudi 17 février 2022-10:02:14

Dernière modification le : vendredi 29 novembre 2024-03:29:30

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Dates et versions

hal-03578185 , version 1 (17-02-2022)

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  • HAL Id : hal-03578185 , version 1

Citer

Audrey Valentin, Mary de Feudis, Ovidiu Brinza, André Tardieu, Riadh Issaoui, et al.. Characteristics of He ion implanted layers on single-crystal diamond. Surface and Bulk Defects in Diamond ( SBDD ) XXIII, Mar 2018, Hasselt, Belgium. ⟨hal-03578185⟩

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