Communication Dans Un Congrès
Année : 2023
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://cnrs.hal.science/hal-04624769
Soumis le : mardi 25 juin 2024-15:49:31
Dernière modification le : jeudi 12 décembre 2024-03:32:05
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04624769 , version 1
Citer
N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, M. Wehbe, S. Labau, et al.. Controlled nanopatterning and plasma etching of sub-100 nm nanopillars for low dislocation density of pendeo-epitaxy GaN: Towards MicroDisplays,. SPIE Conference: Gallium Nitride Materials and Devices XVIII, Jan 2023, San Francisco, USA, United States. ⟨hal-04624769⟩
15
Consultations
0
Téléchargements