Laser doping for microelectronics and microtechnology
Thierry Sarnet
(1)
,
Gurwan Kerrien
,
Nourdin Yaakoubi
(2)
,
Alain Bosseboeuf
(3)
,
Elisabeth Dufour-Gergam
(3)
,
Dominique Debarre
(3)
,
Jacques Boulmer
(4)
,
Kuniyuki Kakushima
,
Cyrille Laviron
(5)
,
Miguel Hernandez
(6, 7)
,
Julien Venturini
,
Tarik Bourouina
(8, 9, 10)
1
LP3 -
Laboratoire Lasers, Plasmas et Procédés photoniques
2 LAUM - Laboratoire d'Acoustique de l'Université du Mans
3 C2N - Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
4 IEF - Institut d'électronique fondamentale
5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
6 Centre Hospitalier Andrée Rosemon [Cayenne, Guyane Française]
7 Centre National de Référence des Leishmanioses - Laboratoire Associé de Cayenne = National Reference Centre for Cutaneous Leishmaniasis (associate laboratory) [Cayenne]
8 Université Gustave Eiffel
9 ESYCOM - Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes
10 ESIEE Paris
2 LAUM - Laboratoire d'Acoustique de l'Université du Mans
3 C2N - Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
4 IEF - Institut d'électronique fondamentale
5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
6 Centre Hospitalier Andrée Rosemon [Cayenne, Guyane Française]
7 Centre National de Référence des Leishmanioses - Laboratoire Associé de Cayenne = National Reference Centre for Cutaneous Leishmaniasis (associate laboratory) [Cayenne]
8 Université Gustave Eiffel
9 ESYCOM - Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes
10 ESIEE Paris
Thierry Sarnet
- Function : Author
- PersonId : 750532
- IdHAL : sarnet
- ORCID : 0000-0002-2399-3768
Gurwan Kerrien
- Function : Author
Kuniyuki Kakushima
- Function : Author
Julien Venturini
- Function : Author