Ultra-Shallow Junctions Fabrication by Plasma Immersion Implantation on PULSION® Followed by Laser Thermal Processing
Frank Torregrosa
(1)
,
Hasnaa Etienne
(2)
,
Guillaume Sempere
(1)
,
Gilles Mathieu
,
Laurent Roux
(3)
,
Vanessa Vervisch
(4)
,
Philippe Delaporte
(5)
,
Thierry Sarnet
(5, 6, 7)
,
Aron Pap
,
Krisztián Kis-Szabo
,
Tibor Pavelka
,
Catherine Grosjean
(8, 9)
,
Edmund Seebauer
,
Susan Felch
,
Amitabh Jain
,
Yevgeniy Kondratenko
1
IBS -
Ion Beam Services
2 Ion Beam Service
3 S2CM - Service de recherche en Corrosion et Comportement des Matériaux
4 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
5 LP3 - Laboratoire Lasers, Plasmas et Procédés photoniques
6 CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique
7 AMU - Aix Marseille Université
8 CIRIMAT - Centre interuniversitaire de recherche et d'ingénierie des matériaux
9 AREVA NP - Centre Technique (FRANCE)
2 Ion Beam Service
3 S2CM - Service de recherche en Corrosion et Comportement des Matériaux
4 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
5 LP3 - Laboratoire Lasers, Plasmas et Procédés photoniques
6 CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique
7 AMU - Aix Marseille Université
8 CIRIMAT - Centre interuniversitaire de recherche et d'ingénierie des matériaux
9 AREVA NP - Centre Technique (FRANCE)
Gilles Mathieu
- Fonction : Auteur
Thierry Sarnet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 750532
- IdHAL : sarnet
- ORCID : 0000-0002-2399-3768
Aron Pap
- Fonction : Auteur
Krisztián Kis-Szabo
- Fonction : Auteur
Tibor Pavelka
- Fonction : Auteur
Edmund Seebauer
- Fonction : Auteur
Susan Felch
- Fonction : Auteur
Amitabh Jain
- Fonction : Auteur
Yevgeniy Kondratenko
- Fonction : Auteur