Communication Dans Un Congrès
Année : 2009
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https://hal.science/hal-02573327
Soumis le : jeudi 14 mai 2020-12:08:45
Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:18:57
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02573327 , version 1
Citer
Pascal Chabert, P. Levif, Jean-Luc Raimbault, M.M. Turner, M.A. Lieberman. Physics of multiple-frequency capacitive discharges. International Conference on Plasma and Nanotechnology (ICPLANTS), Jan 2009, Nagoya, Japan. ⟨hal-02573327⟩
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