Physics of multiple-frequency capacitive discharges - Laboratoire de Physique des Plasmas (LPP) Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Physics of multiple-frequency capacitive discharges

Pascal Chabert
P. Levif
  • Fonction : Auteur
M.M. Turner
  • Fonction : Auteur
M.A. Lieberman
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02573327 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573327 , version 1

Citer

Pascal Chabert, P. Levif, Jean-Luc Raimbault, M.M. Turner, M.A. Lieberman. Physics of multiple-frequency capacitive discharges. International Conference on Plasma and Nanotechnology (ICPLANTS), Jan 2009, Nagoya, Japan. ⟨hal-02573327⟩
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