Article Dans Une Revue
physica status solidi (a)
Année : 2008
Enrique Garcia Caurel : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00458680
Soumis le : lundi 22 février 2010-10:08:13
Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00458680 , version 1
Citer
Martin Foldyna, Antonello de Martino, Enric Garcia-Caurel, Razvigor Ossikovski, François Bertin, et al.. Monitoring of critical dimensions of bidimensional gratings by spectroscopic ellipsometry and Mueller matrix polarimetry. physica status solidi (a), 2008, 205, pp.806. ⟨hal-00458680⟩
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