Interest and characterization of a hybrid CoWP/SiCN architecture for sub-65 nrn technology nodes - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Advanced Metallization Conference 2005 AMC Année : 2006

Interest and characterization of a hybrid CoWP/SiCN architecture for sub-65 nrn technology nodes

Lg. Gosset
  • Fonction : Auteur
S. Chhun
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W. Besling
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T. Vanypre
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A. Farcy
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V. Arnal
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M. Mellier
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J. Flake
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L. Michaelson
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P. Brun
E. Ollier
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D. Ney
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Vivette Girault
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 957248
M. Hopstaken
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K. Kim
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Zx. Jiang
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L. Broussous
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A. Humbert
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H. Fang
  • Fonction : Auteur
S. Van
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A. Shanmugasundram
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J. Torres
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Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00466333 , version 1 (23-03-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00466333 , version 1

Citer

Lg. Gosset, S. Chhun, W. Besling, T. Vanypre, A. Farcy, et al.. Interest and characterization of a hybrid CoWP/SiCN architecture for sub-65 nrn technology nodes. Advanced Metallization Conference 2005 AMC, 2006, pp.587-593. ⟨hal-00466333⟩
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