Poster De Conférence
Année : 2016
Gaëlle Georges : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01622523
Soumis le : mardi 24 octobre 2017-14:32:37
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:05
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01622523 , version 1
Citer
Sophia Bourzgui, Emilie Faivre, Jacques Pinaton, Gaëlle Georges, Agnès Roussy, et al.. Optimisation d’un modèle statistique d’empilement de matériaux diélectriques pour la mesure indirecte par réflectométrie des étapes avant et après polissage des caissons d’isolation.. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM), May 2016, Toulouse, France. ⟨hal-01622523⟩
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