Optimisation d’un modèle statistique d’empilement de matériaux diélectriques pour la mesure indirecte par réflectométrie des étapes avant et après polissage des caissons d’isolation. - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2016

Optimisation d’un modèle statistique d’empilement de matériaux diélectriques pour la mesure indirecte par réflectométrie des étapes avant et après polissage des caissons d’isolation.

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01622523 , version 1 (24-10-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01622523 , version 1

Citer

Sophia Bourzgui, Emilie Faivre, Jacques Pinaton, Gaëlle Georges, Agnès Roussy, et al.. Optimisation d’un modèle statistique d’empilement de matériaux diélectriques pour la mesure indirecte par réflectométrie des étapes avant et après polissage des caissons d’isolation.. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM), May 2016, Toulouse, France. ⟨hal-01622523⟩
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