Surface characterization of imprinted resist above glass transition temperature - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00390373 , version 1 (02-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00390373 , version 1

Citer

T. Leveder, S. Landis, L. Davoust, S. Soulan, J.H. Tortai, et al.. Surface characterization of imprinted resist above glass transition temperature. Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN), May 2007, Denver, United States. ⟨hal-00390373⟩
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