Advanced module for model parameter extraction using global optimization and sensitivity analysis for electron-beam proximity effect correction - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Advanced module for model parameter extraction using global optimization and sensitivity analysis for electron-beam proximity effect correction

T. Figueiro
  • Fonction : Auteur
K.H Choi
  • Fonction : Auteur
M.S Gutsch
  • Fonction : Auteur
M. Freitag
  • Fonction : Auteur
C.K Hohle
  • Fonction : Auteur
J.H Tortai
M. Saib
  • Fonction : Auteur
P. Schiavone
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00807429 , version 1 (03-04-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00807429 , version 1

Citer

T. Figueiro, K.H Choi, M.S Gutsch, M. Freitag, C.K Hohle, et al.. Advanced module for model parameter extraction using global optimization and sensitivity analysis for electron-beam proximity effect correction. 2012 Photomask Technology, 2012, Japan. ⟨hal-00807429⟩
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