Comprehensive optical losses investigation of VLSI Silicon optomechanical ring resonator sensors
L. Schwab
,
P.E. Allain
,
L. Banniard
,
A. Fafin
,
M. Gély
(1)
,
O. Lemonnier
,
P. Grosse
(2)
,
M. Hermouet
,
S. Hentz
(1)
,
I. Favero
(3)
,
B. Legrand
,
G. Jourdan
(4)
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 DOPT - Département d'Optronique
3 MPQ (UMR_7162) - Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques
4 IUSTI - Institut universitaire des systèmes thermiques industriels
2 DOPT - Département d'Optronique
3 MPQ (UMR_7162) - Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques
4 IUSTI - Institut universitaire des systèmes thermiques industriels
L. Schwab
- Fonction : Auteur
P.E. Allain
- Fonction : Auteur
L. Banniard
- Fonction : Auteur
A. Fafin
- Fonction : Auteur
O. Lemonnier
- Fonction : Auteur
M. Hermouet
- Fonction : Auteur
B. Legrand
- Fonction : Auteur
G. Jourdan
- Fonction : Auteur
- PersonId : 751481
- IdHAL : guillaume-jourdan
- ORCID : 0000-0002-0944-8640
- IdRef : 128021683