Article Dans Une Revue
Japanese Journal of Applied Physics
Année : 2016
Svetlana Mintova : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02410450
Soumis le : vendredi 13 décembre 2019-18:47:53
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Citer
Shu Inoue, Matthieu Denoual, Hussein Awala, Julien Grand, Sveltana Mintova, et al.. Characterization of zeolite-trench-embedded microcantilevers with CMOS strain gauge for integrated gas sensor applications. Japanese Journal of Applied Physics, 2016, 55 (4S), pp.04EF14. ⟨10.7567/JJAP.55.04EF14⟩. ⟨hal-02410450⟩
Collections
20
Consultations
0
Téléchargements