Investigation of a dielectric barrier discharge operating at atmospheric pressure for spatial atomic layer deposition application - CNRS - Centre national de la recherche scientifique
Communication Dans Un Congrès Année : 2023

Investigation of a dielectric barrier discharge operating at atmospheric pressure for spatial atomic layer deposition application

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Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://cnrs.hal.science/hal-04264430

Soumis le : lundi 30 octobre 2023-11:50:41

Dernière modification le : vendredi 20 décembre 2024-17:16:44

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04264430 , version 1 (30-10-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04264430 , version 1

Citer

Gervais Ndiffo Yemeli, Tian Tian, Hervé Rabat, Olivier Aubry, David Munoz-Rojas, et al.. Investigation of a dielectric barrier discharge operating at atmospheric pressure for spatial atomic layer deposition application. INSPEDADM 2023, Oct 2023, La Rochelle, France. ⟨hal-04264430⟩

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