Optical characterization of laser processed ultra-shallow junctions
G. Kerrien
(1)
,
M. Hernandez
(2)
,
C. Laviron
(3)
,
T. Sarnet
(4)
,
D. Débarre
(5)
,
T. Noguchi
(6)
,
D. Zahorski
,
J. Venturini
,
M.N. Semeria
,
J. Boulmer
(5)
1
ST-CROLLES -
STMicroelectronics [Crolles]
2 IOTA/ES - International Occultation Timing Association, European Section
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique
5 IEF - Institut d'électronique fondamentale
6 UEC - University of Electro-Communications [Tokyo]
2 IOTA/ES - International Occultation Timing Association, European Section
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique
5 IEF - Institut d'électronique fondamentale
6 UEC - University of Electro-Communications [Tokyo]
T. Sarnet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 750532
- IdHAL : sarnet
- ORCID : 0000-0002-2399-3768
D. Zahorski
- Fonction : Auteur
J. Venturini
- Fonction : Auteur
M.N. Semeria
- Fonction : Auteur