Article Dans Une Revue Applied Surface Science Année : 2003

Optical characterization of laser processed ultra-shallow junctions

Dates et versions

hal-04843991 , version 1 (17-12-2024)

Identifiants

Citer

G. Kerrien, M. Hernandez, C. Laviron, T. Sarnet, D. Débarre, et al.. Optical characterization of laser processed ultra-shallow junctions. Applied Surface Science, 2003, 208-209, pp.277-284. ⟨10.1016/S0169-4332(02)01354-5⟩. ⟨hal-04843991⟩
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