Article Dans Une Revue
Electronics Letters
Année : 2008
Chahla Domenget : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00397178
Soumis le : vendredi 19 juin 2009-16:27:33
Dernière modification le : mercredi 24 avril 2024-15:00:10
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00397178 , version 1
Citer
S. Capraro, C. Bermond, T.T. Vo, A. Farcy, J. Piquet, et al.. Variation of MIM damascene capacitors HF performance as they evolve from 2D to 3D architectures. Electronics Letters, 2008, 44 (6), pp.411 - 412. ⟨hal-00397178⟩
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