Variation of MIM damascene capacitors HF performance as they evolve from 2D to 3D architectures - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Electronics Letters Année : 2008
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00397178 , version 1 (19-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00397178 , version 1

Citer

S. Capraro, C. Bermond, T.T. Vo, A. Farcy, J. Piquet, et al.. Variation of MIM damascene capacitors HF performance as they evolve from 2D to 3D architectures. Electronics Letters, 2008, 44 (6), pp.411 - 412. ⟨hal-00397178⟩
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