Design of On-Wafer TRL Calibration Kit for InP Technologies Characterization up to 500 GHz - CNRS - Centre national de la recherche scientifique Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue IEEE Transactions on Electron Devices Année : 2020

Design of On-Wafer TRL Calibration Kit for InP Technologies Characterization up to 500 GHz

Chhandak Mukherjee
Chandan Yadav
  • Fonction : Auteur
Sebastien Fregonese
Thomas Zimmer
  • Fonction : Auteur
Magali de Matos
  • Fonction : Auteur
Wei Quan
  • Fonction : Auteur
Akshay Mahadev Arabhavi
  • Fonction : Auteur
Colombo Bolognesi
  • Fonction : Auteur
Xin Wen
  • Fonction : Auteur
Mathieu Luisier
  • Fonction : Auteur
Christian Raya
  • Fonction : Auteur
Bertrand Ardouin
  • Fonction : Auteur
Cristell Maneux

Résumé

This paper reports a detailed approach towards optimization of on-wafer TRL calibration structures for sub-millimeter-wave characterization of a state-of-the-art InP technology, validated by thorough experimentation and electro-magnetic (EM) simulation. The limitations of the existing RF test structures for high frequency measurements beyond 110 GHz are analyzed through EM simulation. Using an optimization procedure based on calibration of raw EM simulated data, on-wafer TRL calibration structures were developed and fabricated in a subsequent run of this technology. Measurements could be achieved up to 500 GHz on the passive devices and up to 330 GHz on the InP DHBTs. The transistor measurements were validated by comparison with the HiCuM compact model simulation to 330 GHz for the InP DHBTs.
Fichier principal
Vignette du fichier
TED_final_manuscript.pdf (1.34 Mo) Télécharger le fichier
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-03088017 , version 1 (05-07-2021)

Identifiants

Citer

Marina Deng, Chhandak Mukherjee, Chandan Yadav, Sebastien Fregonese, Thomas Zimmer, et al.. Design of On-Wafer TRL Calibration Kit for InP Technologies Characterization up to 500 GHz. IEEE Transactions on Electron Devices, 2020, 67 (12), pp.5441-5447. ⟨10.1109/TED.2020.3033834⟩. ⟨hal-03088017⟩
89 Consultations
454 Téléchargements

Altmetric

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More